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行业动态
半导体专用高精度氢气传感器-免标定/多信号-深国安
半导体专用高精度氢气传感器简介：
在半导体晶圆退火、PECVD 薄膜沉积等工艺中，氢气常作为保护气或反应气使用，微量泄漏(≥100ppm)可能引发爆炸风险，且需避免干扰工艺气体配比。深国安自主研发的半导体专用SGA-700高精度氢气传感器，凭借 “免标定运维” 与 “多信号适配” 核心优势，成为兼顾检测精度与工艺效率的关键组件。
半导体专用SGA-700高精度氢气传感器技术工艺：在国外原装进口传感器的基础上，进行了信号放大、数据处理、智能运算及温湿度补偿等工作。且经过99.9%纯度的标准气体校正后才出货给客户。因此，客户购买后，无需任何操作，可直接采集标准信号进行数据处理。即方便使用、又节约了研发及生产成本。可以说，采用深国安BWIN必赢生产半导体专用SGA-700高精度氢气传感器模组，只需开发一款产品，即可对应不同企业对检测不同气体、不同量程、不同单位值的需求。
半导体专用SGA-700高精度氢气传感器支持 4-20mA 模拟信号、RS485 数字信号、继电器开关量三模输出，可直接对接刻蚀机、退火炉等工艺设备控制系统，以及车间 MES 系统与安全预警平台 —— 当氢气浓≥500ppm(一级预警)时，4-20mA 信号触发排风系统启动;≥1000ppm(二级报警)时，继电器信号联动气体切断阀，同步通过 RS485 上传数据至 MES 系统记录工艺批次，形成 “检测 - 处置 - 追溯” 闭环。
半导体专用SGA-700高精度氢气传感器采用IP65防护设计，耐受半导体车间 20℃-50℃温度波动与 40%-70% RH 湿度环境，抗硅烷、氨气等工艺气体交叉干扰，响应时间(T90)≤10秒，满足快速泄漏预警需求。无需专业人员维护、多系统无缝对接的特性，使其在半导体氢气使用全流程中实现 “高精度监测 + 低运维成本”，为工艺安全与晶圆质量保驾护航。
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